独立式系统

ICP或者微波等离子源

14”立方的电抛光不锈钢腔体

8”或者12”的基片夹具

700°C旋转基片夹具用于6”样品台，950°C用于4”样品台

增加鼓泡器和MFC

自动上下片

集群配置可兼容