【技术特点】-- NEE-4000 (M) 电子束蒸发系统

• 顺序蒸发或共蒸发

• 双电子束源

• 多凹槽电子枪

• 可编程电子束扫描

• 手动上下载片，带预真空锁

• 材料和衬垫更换非常方便

• 晶振式膜厚监测仪

• 通过LabView软件实现PC计算机控制

• 菜单驱动，四级访问密码保护

• 完全的安全联锁

【技术特点对用户带来的好处】-- NEE-4000 (M) 电子束蒸发系统

【典型应用举例】-- NEE-4000 (M) 电子束蒸发系统