【技术特点】-- SWC-4000 (W) 兆声晶圆清洗机

• 支持12”直径的圆片或9”x9”方片

• 独立系统

• 无损兆声,试剂，毛刷清洗及旋转甩干

• 微处理机自动控制

• 化学试剂滴胶单元

• 溶剂与酸分离排废

• 热氮

• 30”D x 26”W 的占地面积

【技术特点对用户带来的好处】-- SWC-4000 (W) 兆声晶圆清洗机

【典型应用举例】-- SWC-4000 (W) 兆声晶圆清洗机