离子束：高达2KV/10mA

离子电流密度100-360uA/cm2

离子束直径：4“,5“,6“

兼容反应及非反应气体(Ar, O2, CF4,Cl2)

极限真空5x10-7Torr

260l/s涡轮分子泵，串接500 l/min干泵

14“不锈钢或铝质腔体