电子枪 | 肖特基场发射 | ||
物镜 | semi-in-lens物镜 | ||
分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.3 nm @ 1 kV 分析模式:3.0 nm @ 15kV WD8mm 5nA | ||
加速电压 | 0.1~30kV | ||
束流 | 几pA ~ 200nA @ 15 kV | ||
自动光阑角zei佳控制透镜 | 内置 | ||
倍率 | x 25 ~ x 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×75~×3,000,000(1280 x 960 pixels display); | ||
检测器 | 高位检测器(SED) 低位检测器(LED) | ||
能量过滤器 | r-能量过滤器 | ||
Gentle Beam模式 | 内置 | ||
样品交换室 | 内置(具有干燥氮气导入功能) 气锁式、可交换的zei大样品:φ100mm×40mmH | ||
样品台 | 5轴马达驱动、全对中测角样品台 | ||
样品移动范围 | X: 70 mm , Y: 50 mm,Z: 1.0~25 mm,倾斜:-5~70°, 旋转: 360° |
选配*
可插拔式背散射电子检测器(RBEI,* )
低角度背散射电子检测器((LABE*)
波谱仪(WDS)
能谱仪(EDS*,**)
电子背散射衍射装置(EBSD)
透射电子检测器(STEM)
阴极荧光系统(CLD)
分辨率 | 1.0nm (15kV) , 1.3nm (1kV) , 分析当中 3.0 nm (15 kV、 束流电流 5 nA) | ||
倍率 | 25 to 1,000,000 | ||
加速电压 | 0.1kV to 30kV | ||
探针电流 | 数 pA ~ 200nA | ||
自动光阑角zei佳控制透镜 | 内置 | ||
检测器 | 高位检测器(SED)、低位检测器(LDD) | ||
能量过滤器 | SP r-能量过滤器 | ||
Gentle Beam (样品偏压) | 内置(施加样品偏压 0~ 2kV) | ||
样品台 | 5轴马达驱动 全对中测角样品台 | ||
型 | Type IA 2 | Type II (Optional) | Type III (Optional) |
X-Y | 70mm×50mm | 110mm×80mm | 140mm×80mm |
倾斜 | -5° to ~+70° | -5° to +70° | -5° to +70° |
旋转 | 360°endless | 360°endless | 360°endless |
WD | 1.0mm ~ 40mm | 1.0mm ~ 40mm | 1.0mm ~ 40mm |
真空系统 | Two SIPs, TMP, RP |
可插拔式背散射电子检测器 (RBEI)
低角度背散射电子检测器 (LABE)
扫描透射电子检测器 (STEM)
样品台导航系统
离子清洗装置
能谱仪(EDS)
波谱仪 (WDS)
阴极荧光检测器
各种样品架