RF射频偏压样品台
膜厚监测仪
极限真空5x10-7Torr
高精度及高重复性
原子级的洁净表面
原子级清洗和抛光
通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
两个腔体之间自动传送
菜单驱动,4级密码访问保护
完整的安全联锁