【技术特点】-- NTE-4000 (M) 热蒸发系统

• 最大可支持7”的方片或200mm的晶圆片

• 沉积速度可控

• 旋转的样品台

• 双坩埚

• 2KVA SRC控制电源

• 晶振式膜厚监控仪

• 通过LabView软件实现PC计算机控制

【技术特点对用户带来的好处】-- NTE-4000 (M) 热蒸发系统

【典型应用举例】-- NTE-4000 (M) 热蒸发系统