【技术特点】-- NSC-4000 (A) 全自动磁控溅射系统

• 不锈钢腔体

• 260l/s或350l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

• 13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源

• 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率

• 带观察视窗的腔门易于上下载片

• 基于LabView软件的PC计算机控制

• 带密码保护功能的多级访问控制

• 完全的安全联锁功能

• 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片

【技术特点对用户带来的好处】-- NSC-4000 (A) 全自动磁控溅射系统

【典型应用举例】-- NSC-4000 (A) 全自动磁控溅射系统