紧凑型独立式系统
不锈钢或铝制腔体
极限真空可达10-7Torr
RF淋浴头,HCD或微波等离子源
高达12”(300mm)直径的样品台
RF射频偏压样品台
水冷样品台
可加热到的800 °C样品台
加热的气体管路
加热的液体传送单元
抗腐蚀的涡轮分子泵组
1路载体气体以及3路反应气体,带MFC
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
菜单驱动,4级密码访问保护
完整的安全联锁