脉冲能量

4mJ

20mJ

重频

3kHz

1kHz

脉宽

<100fs

光斑(FWHM)

~5μm

激光强度

~10¹⁸ W/cm2

X射线源

靶材

Cu\Mo\Ag等多种靶材可选

脉宽

<100fs

光子通量**

>10¹¹ph/s

X射线源尺寸***

~10 μm (FWHM)

光学组件耦合（多层膜）

样品处焦斑***

~100μm（FWHM）

样品处的Ka光子通量***

~10⁸ ph/s

无光学组件耦合（成像应用）

最小工作距离（SOD）

75px

束角

40^o