低成本
带预真空锁,自动上下载片
离子束:高达2KV/10mA
离子电流密度100-360uA/cm2
离子束直径:4“,5“,6“
兼容反应及非反应气体(Ar, O2, CF4,Cl2)
极限真空5x10-7Torr
260l/s涡轮分子泵,串接500 l/min干泵
14“不锈钢或铝质腔体
水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)
自动上下载片(NIE-3500)
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
占地面积30“x30“