【技术特点】-- LSC-4000 (C) 兆声大基片清洗系统

LSC-4000 (C) 兆声大基片清洗系统的特点：

• 支持450mm直径的圆片或15”x15”方片

• 带兆声、DI、刷子、热DI、高压DI、热氮、化学试剂滴胶臂的大腔体

• 带化学试剂滴胶的刷子转速可调节

• 带LABVIEW软件的PC全自动控制

• 触摸屏用户界面

• 手动上下载片

• 安全互锁及警报装置

• 30”D x 26”W 的占地面积

【技术特点对用户带来的好处】-- LSC-4000 (C) 兆声大基片清洗系统

【典型应用举例】-- LSC-4000 (C) 兆声大基片清洗系统