【技术特点】-- LSC-5000 (AD) 全自动兆声大基片湿法去胶系统

• 支持450mm直径的圆片或15”x15”方片

• 带兆声、DI、刷子、热DI、高压DI、热氮、化学试剂滴胶臂的大腔体

• 带化学试剂滴胶的刷子转速可调节

• 带LABVIEW软件的PC全自动控制

• 触摸屏用户界面

• 机械手上下载片，带EFEM以及SMIF界面

• 安全互锁及警报装置

• 30”D x 26”W 的占地面积

【技术特点对用户带来的好处】-- LSC-5000 (AD) 全自动兆声大基片湿法去胶系统

【典型应用举例】-- LSC-5000 (AD) 全自动兆声大基片湿法去胶系统