u 无需真空泵、充氮气,节省保养维护费用。
u 创新设计非真空卡盘式吸盘,基材只需放置在卡盘式旋涂托盘适当位置,无需抽真空,就能达到完美的旋涂效果。
u 耐酸碱防腐蚀FEP覆膜操作界面,坚固的不锈钢外壳,钢化的玻璃盖和耐酸碱防腐蚀的衬垫和聚丙烯材质旋涂托盘,使得在各种苛刻条件下仍能保证仪器正常运行。
u 采用液晶显示+按键操作控制界面。智能程序化控制,10个用户自定义协议,每个协议下可设置10个程序,每个程序最多50个步骤。
u 内置水平校准装置,大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
u 电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证运行安全。