达因特真空等离子处理...
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系统标准配件
设备尺寸1105W * 1488D * 1842Hmm (2158mm带信号灯高度）
水平极板8层
电极板402W * 450Dmm
气体流量控制器，2路工艺气体0-300ml/min
真空测量日本ulvac真空计
人机界面触摸屏SD自主研发
电极间距48mm
信号指示灯3色带警报
真空泵90m3/h双极油泵
系统电力&机械
电源：AC380V，50/60Hz额定功率5000W
系统重量（设备主机/真空泵）<600Kg
占地面积：设备主机1805(W)×1988(D)×1842(H) mm
射频电源
射频电源频率13.56MHz
射频电源功率1000W
射频电源匹配器全自动匹配，领先的空气电容技术
设备必备条件
电源：AC380V，50/60Hz，三相五线7.5KVA
压缩空气要求无水无油CDA 60~90psig
抽风系统≥2立方/分钟，中央尾气处理管道即可
系统环境温度要求≤30℃（室温最佳）
工艺气体要求15~20psig  99.996%或以上纯度；



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