【技术特点】-- VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

VTC-16-3HD3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），控制面板采用触摸屏模式，基片最大尺寸2″，放置样品的直径为Φ50mm，加热温度达500℃。本机可溅射金、银、铜三种靶材，并采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜。

主要特点

1、PLC控制面板，4.3″触摸屏，PID控温方式。

2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。

3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。

4、已通过CE认证。

产品规格

尺寸：360mm×350mm×3600mm

重量：50kg

可选配件

1、KF25真空接口、卡箍

2、不锈钢波纹管（600mm）

3、旋片式真空泵（120L/M）

4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材

5、加热型样品台

【技术特点对用户带来的好处】-- VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

【典型应用举例】-- VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪