技术参数
1、靶:?50mm
2、样品台:?50mm
3、真空室:?160mm×110mm
4、真空度:4×10-1mbar-2×10-2mbar
5、极限电流:50mA
6、可设定极限时间:9999s
7、极限电压:1600V DC可调
8、真空泵:4L两级机械旋转泵,极限真空2×10-2mbar(也可选配国产分子泵)