技术参数
1、靶:Φ45mm
2、真空室:Φ160mm×120mm
3、最高真空度:≤4×10-2mbar
4、靶位:3个
5、最大电流:50mA
6、可设定最长时间:900s
7、微型真空气阀:连接Φ3mm软管
8、最高电压: 1600V DC
9、机械泵:2L/s