技术参数

1、电源：220V

2、总功率：<2000W（包括真空泵）

3、真空室：Φ160mm×120mm

4、样品台：Φ50mm，且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜

5、最大均匀镀膜：Φ45mm