产品名称
GPC-100A精 确磨抛控制仪
产品型号
GPC-100A
主要特点
可严格控制被磨样品表面的平行度和平面度,控制准确度高。研磨过程中可搭配数显测厚仪使用,随时观测样品磨削量,尤其适用于表面平行度和平面度及样品厚度要求高的晶圆样品研磨使用。
产品规格
尺寸:外径146mm,高266mm
标准配件
1、真空泵
2、过滤瓶
3、底座
4、玻璃片