技术参数 | 1、电源电压:220V 50Hz 2、极限功率:<2KW(不含真空泵) 3、极限真空度:9.0×10-4Pa 4、样品台加热温度:RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度) 5、靶枪数量:2个(可选配其他数量) 6、靶枪冷却方式:水冷 7、靶材尺寸:?2″,厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同) 8、直流溅射功率:500W;射频溅射功率:300W。(靶电源种类可选,可选择两个直流电源,也可选择两个射频电源,或选则一个直流一个射频电源) 9、载样台:?140mm 10、载样台转速:1rpm-20rpm内可调 11、保护气体:Ar、N2等惰性气体 12、进气气路:质量流量计控制2路进气,一路为100SCCM,另一路为200SCCM。 |