VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪参数指标

技术参数

1、电源电压：220V  50Hz

2、总功率：2.5KW

3、极限真空度：< E-6mbar（配合本公司设备使用可达到 E-5mbar）

4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度）

5、靶枪数量：3个

6、靶枪冷却方式：水冷

7、靶材尺寸：?2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同）

8、直流溅射功率：500W（可选）

9、射频溅射功率：300W/500W（可选）

10、载样台：?140mm

11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调

12、保护气体：Ar、N₂等惰性气体

13、进气气路：质量流量计控制2路进气，1个流量为100 SCCM，1个流量为200 SCCM