技术参数

     1、电源：AC220V  1500W

     2、蒸发电源功率：1000W  5V   200A

     3、蒸发电极有效距离：44mm

     4、样品台：?120mm（可旋转）

     5、膜厚测量精度：0.1?或0.01?（可选配高精度型）

     6、外接真空机组：国产分子泵机组（可选配扩散泵机组或进口分子泵机组）（不建议使用扩散泵）

     7、极限真空度：>3.0×10^-3torr（扩散泵）、8.0×10^-4Pa（分子泵）（不建议使用扩散泵）

     8、工作真空度：5.0×10^-3torr

     9、真空接口：KF40

    10、使用环境：温度35℃，湿度<75%（相对湿度）不结露，海拔<1500m