技术参数
1、靶:?50mm
2、真空室:?160mm×120mm
3、最高真空度:≤4×10-2mbar
4、最大电流:50mA(100mA)
5、可设定最长时间:9999s
6、微型真空气阀:连接?3mm软管
7、最高电压:1600V DC
8、机械泵:2L/s