1、主溅射室尺寸:?560×355mm梨形真空室 2、主溅射室真空度:5×10-6Pa 3、进样室尺寸: ?255×430mm 4、进样室真空度:5×10-4Pa 5、永磁靶5套,靶材尺寸φ2″,各靶射频与直流溅射兼容(其中1个靶可溅射铁磁材料) 6、公转样品台6个工位,5个水冷工位,1个加热工位,加热工位最高温度 600℃±1℃ 7、样品尺寸:φ1″,可放置6片 8、基片可加-200V负偏压 9、进样室可一次性安装6片样品,可对被镀样品进行退火处理,退火温度 800℃±1℃ 10、进样室可对基片进行反溅清洗 11、进样室和主溅射室之间通过磁力样品机构进行样品传递 |