500W直流溅射电源DC-500-LD技术特点

产品型号

500W直流溅射电源DC-500-LD

产品规格

尺寸：440mm×160mm×440mm

可选配件

1、2“高真空磁控溅射头，可自行搭建RF或DC溅射镀膜仪。

2、同时购买300W射频发射器和2“磁控溅射头时，本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75“，可将溅射

　　头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1“，真空腔体的壁厚不得大于1“。

3、循环水冷机，流量为16L/min，水箱容积为6L。