技术参数

1、极限真空度：≤6.67x10^-5 Pa (经烘烤除气后)；

2、系统真空检漏漏率：≤5.0x10^-7 Pa.l/S；

3、系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，20分钟可达到5x10^-3 Pa；