产品简介:100W小型手动匹配型射频电源RF-100-LD频率为13.56MHz,专门与本司1“的磁控溅射头配用,可搭建成一套较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膜。
产品型号 | 100W小型手动匹配型射频电源RF-100-LD |
产品规格 | 尺寸:390mm×260mm×105mm |
可选配件 | 1、1“高真空磁控溅射头,可自行搭建RF或DC溅射镀膜仪。
2、同时购买100W射频发射器和1“磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75“,可将溅射 头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1“,真空腔体的壁厚不得大于1“。
3、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L。 |