技术参数
1、极限真空度：≤6.67x10-5Pa (经烘烤除气后)；
2、系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；
3、系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，45分钟可达到6.6x10-4Pa；
基本参数
1、真空室可立式或卧式；
2、真空室直径尺寸：φ200-φ2000mm（根据客户要求设计加工）；
3、电阻加热：单区加热、双区加热、三区以及多区加热；
电阻加热材料：高温钨、钼、钽及石墨；一般温度采用复合材料，铁铬铝、镍铬等；
4、保温方式及材料:
多层金属屏保温；
石墨筒或碳毡保温；
水冷屏保温；
5、温度：100℃-2300℃
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