技术指标

测量范围：1.0×105～1×10-5Pa

有效范围：3×103～1×10-5Pa

参考范围：1.0×105～3×103Pa

配接规管：ZJ-52T；ZJ-27

压强控制范围： 1.0×100～1.0×10-3Pa

控制稳定度：±3%

调节阀：TJF -1

压强控制方式：PID

压强响应时间： ＜2S

测量路数：3路（电阻1单独测量，电阻2和电离应接在同一测量点复合测量）

显示路数：2个窗口

显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法，例：1.2E－1，表示为1.2×10-1Pa

控制路数：4路

控制范围：1.0×105～1×10-5Pa /建议在有效范围内设置

控制方式：点控或区域控制/带掉电记忆

控制点负载：AC220V/3A；DC28V/10A

工作电源：AC/60~265V/50Hz/60Hz

重量：约4Kg