技术指标
技术参数:
1、测量范围: 4×101 ~ 1×10-5 Pa。
2、X射线极限: 小于1×10-6 Pa
3、规管灵敏度: 0.15±15%Pa-1
4、工作参数:
加速极对地电位:225V
阴极对地电位:25V
收集极对地电位:0V
发射电流:100uA(1×101 ~ 1×10-1 Pa)
1mA(1×10-1 ~ 1×10-5 Pa)
5、在101 ~ 100 Pa,2×10-5 Pa ~ 1×10-5 Pa范围只作参考测量。
6、真空连接形式及烘烤温度: Φ15.5±0.5玻璃 80℃ Φ15.5±0.1金属 80℃ KF10快卸法兰 80℃ KF16快卸法兰 80℃ KF25快卸法兰 80℃ KF40快卸法兰 80℃ CF16超高法兰 450℃ CF25超高法兰 450℃ CF35超高法兰 450℃