ZJ-10B真空规参数指标

技术指标

技术参数：

1、测量范围：     6.5×10¹ ～ 1×10^-4 Pa。

2、X射线极限：   3×10^-4 Pa

3、规管灵敏度：    0.015±15%Pa^-1

4、工作参数：

加速极对地电位：165V

阴极对地电位：50V

收集极对地电位：0V

发射电流： 50uA(1×10² ～ 1×10^-2 Pa)

        500uA (1×10^-2 ～ 1×10^-4Pa)

5、在10² ～6× 10¹ Pa，3×10^-4 Pa ～ 1×10^-4 Pa范围只作参考测量。

     6、真空连接形式及烘烤温度：

        Φ15.5±0.5玻璃            80℃
        Φ15.5±0.1金属            80℃
        KF10快卸法兰                 80℃
        KF16快卸法兰                 80℃
        KF25快卸法兰                 80℃
        KF40快卸法兰                 80℃
        CF16超高法兰                 450℃
        CF25超高法兰              450℃
        CF35超高法兰                 450℃