膜厚监测仪技术特点

【技术特点】-- 膜厚监测仪

产品简介：EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合先进的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，用于对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。EQ-TM106膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出PWM（脉冲宽度调制）模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制，从而检测所制备薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间，原理简单，操作方便，尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用。

产品名称	EQ-TM106膜厚监测仪
产品型号	EQ-TM106
主要特点	1、本机可与计算机连接。 2、显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM控制输出的百分比等工作状态。 3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写入Excel文件。 4、具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。
标准配件	1	EQ-TM106-1监测组件	1个
2	EQ-TM106-2显示仪	1台
3	EQ-TM106-3探头	1个

【技术特点对用户带来的好处】-- 膜厚监测仪

【典型应用举例】-- 膜厚监测仪