技术参数

1. 光谱范围：370-1000nm

2. 光谱分辨率：1.6nm

3. 测量光斑：典型1.5mm

4. 最大样片厚度测量范围：15nm- 100μm

5. 膜厚测量重复性：0.1nm

6. 测量膜层数目：4层

7. 准确度：2nm或0.4%

8. 单次测量时间：典型1-2秒