技术参数
1、最大设置温度:300℃
2、最大设置时间:100,000S
3、时间分辨率:0.1Smm
4、顶针调节距离:30mm
5、顶针分辨率:0.1mm
6、加热功率:1000W
7、控温范围:室温-300℃
8、温度分辨率:0.1℃
9、控温精度:±0.2℃
10、表面温度均匀性:<±1%
11、可存贮100组烤胶配方,每个配方可设置5个加热阶段
12、电动顶针高度0-30.0mm
13、顶针高度分辨率:0.1mm
14、顶针可使用底物直径大于40mm晶圆,特殊要求可定制