OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其最高工作温度可以达到1000℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。
产品型号 | OTF-1200X-5S小型开启式管式炉 |
主要特点 | 炉体结构 双层壳体结构 表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率,保证温度均匀性,炉膛采用高纯氧化铝纤维作材料,此款管式炉也可做为立式炉使用(点击图片查看详细资料)
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质保 | 一年保修,终身维护 |
质量认证 | CE认证 所有电器元件(>24V)都通过UL?/?MET?/?CSA认证 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 |
应用注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) |