产品描述
Nano View-3000是高端机型,包括:非接触3D形貌测量,更广的测量范围(5mm可选),自动聚焦功能(可选),拼接和线路纵断面等功能。
产品规格
干涉物镜:5物镜可选(程控)
扫描范围:0-180um(270um,5mm可选)
垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm
横向分辨率:0.2-4um(取决于物镜和FOV)
倾斜度:±6°
工作平台:NV-P2020 200X200mm(程控)
NV-P4050 400X500mm(程控)
应用领域
Nano View系列为LCD(液晶显示器)、IC Package(芯片封装)、Substrate(基板)、Build-up PCB(积层板)、MEMS(微机电系统),Engineering Surfaces(工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。