技术参数

1、电源：208V-240V  50Hz/60Hz  3KW

2、石英腔体：?200mm×340mm

3、加热元件：Ni-Cr-Al电阻丝，最高加热温度1200℃

4、加热区域：?190mm×216mm

5、恒温区域：?100mm×89mm，均匀性±5℃

6、工作温度：连续工作≤1000℃，极限温度1100℃

7、恒温精度：±2℃

8、真空度：没有加装绝热门堵时，机械泵工作30min内可达到10 mtorr

　　       加装绝热门堵时，机械泵工作30min内可达60 mtorr（绝热门堵需在900℃时预热）

9、泄漏率：室温条件下≈125 mtorr/h

10、通入气体：惰性气体或还原性气体

11、腔体内压力：< 1.2  atm