1、电源:208V-240V AC三相 50Hz/60Hz 15KW 2、炉体容积:约100L 3、炉管:石英管或刚玉管 4、坩埚:高纯石墨坩埚 5、加热元件:1800级硅钼棒 6、温控系统:50段控温程序 7、控温精度:±1℃ 8、工作温度:连续工作1600℃,短时间工作1700℃ 9、控温方式:自动程序控温 10、生长方法:区熔法(样品固定不动,炉体向上移动) 11、移动速度:1mm/h-10mm/h可调 12、快速移动:手动 13、结晶转速:1rpm-50rpm 14、真空系统:机械泵和扩散泵 15、极限真空度:10-5torr |