技术参数 | 1、电源:三相380V 25KW 2、感应射频:功率25KW,射频0.2KHz-20KHz 3、真空腔体:?500mm×700mm 4、真空度:10-3torr(机械泵),10-5torr(扩散泵) 5、最大提拉行程:500mm 6、提拉速度:0.1mm/h-20mm/h 7、籽晶杆旋转速度:0-40rpm 8、最大可熔融温度:2100℃ 9、控温精度:<±0.2℃ 10、冷却水:所需水压0.13MPa-0.18MPa,所需流量60L/min 11、移动速度:1mm/h-10mm/h可调 12、快速移动:手动 13、结晶转速:1rpm-50rpm 14、真空系统:机械泵和扩散泵 15、极限真空度:10-5torr |