可加热材料

非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热、传统电加热、混合加热、微波等离子

最大功率/KW

6(可调)

最高工作温度/℃

1600

长期工作温度/℃

≤1500

温度测试元件

微波场专用传感器

控温精度/℃

1200℃以下±1；1200℃以上±2℃

温度控制方式

10段可设工艺参数，7寸触摸屏操作，带数据存储功能；提供手动、自动、恒温控制模式，曲线实时显示。

有效加热区尺寸

Φ100 x 100mm x 3段 加热腔

加热腔材质

陶瓷纤维

配置

2路气氛接口及控制阀

系统真空范围

标准大气压～10-3Pa

真空系统标准配置

10-3Pa真空用高档机械泵、分子泵及真空计；真空度：10-3Pa（常温状态下）

质量流量控制系统

七星华创质量流量&控制器

外型尺寸(长x宽x高)/mm

设备尺寸：900*700*2200控制柜：600*380*1200mm

微波泄漏量/mW/㎝2

≤0.4

电源电压（V）

220