技术参数

测量头

● 测量范围[μm]：±250

● 分辨率[nm]：10

● 针尖半径[μm]：2

旋转台

● 旋转角[°]：360

● 最小分辨率[°]：0.01

自动触针驱动单元

● X 轴向[mm]：20

● Z 轴向[mm]：4

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