产品简介:
技术参数
测头规格
穆勒矩阵椭偏测头
光谱椭偏测头
反射膜厚测头
自动化程度
可变/固定角+ mapping
垂直角+ mapping
应用定位
高阶高精度型
高精度型
通用型
单次测量时间
0.5-5s
小于1s
分析光谱
380-1000m(支持扩展至193-2500nm)
380-1100nm
Mapping行程
支持行程定制化
支持样件尺寸
安需定制化