椭偏在线监测装备
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产品简介:

 

技术参数

测头规格

穆勒矩阵椭偏测头

光谱椭偏测头

反射膜厚测头

自动化程度

可变/固定角+ mapping

可变/固定角+ mapping

垂直角+ mapping


应用定位

高阶高精度型

高精度型

通用型


单次测量时间

0.5-5s

小于1s



分析光谱

380-1000m(支持扩展至193-2500nm)

380-1100nm



Mapping行程

支持行程定制化




支持样件尺寸

安需定制化





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