基本功能

获取薄膜厚度值以及R、N/K等光谱

光谱波长范围

380-800nm

650-1100nm

测量厚度范围

50nm-20um

100nm-200um

测量时间

<1s

光斑尺寸

0.5-3mm

重复精度

0.1nm（100nmSiO₂/Si）

绝对精度

±1nm or 0.5%

入射角方式

垂直入射