技术参数

1、自动化程度：自动变角

2、应用定位：自动型

3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱

4、分析光谱：380-1000nm(可扩至193-2500nm)

5、单次测量时间：0.5-5s

6、重复性测量精度：0.01nm

7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200um

8、入射角调节方式：自动变角

9、入射角范围：45-90°

10、找焦方式：自动找焦

11、Mapping行程：支持100x100mm(可选配)

12、支持样件尺寸：最大至200mm