技术参数

1、自动化程度：手动变角

2、应用定位：通用型

3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱

4、分析光谱380-1000nm(可扩至210-1650nm)

5、单次测量时间：0.5-5s

6、重复性測量精度：0.01nm

7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200μm

8、入射角调节方式：手动变角

9、入射角范围：55-75°(5°步进),90°

10、找焦方式：手动找焦

11、Mapping行程：不支持

12、支持样件尺寸：最大至180mm