技术参数
1、电源:90V-132V/185V-265V
2、持续/最大功率:100W/110W
3、启动时间:2min
4、体积流速:N2 33L/s、He 39L/s、H2 32L/s,2340L/min
5、压缩速率:N2 >1E11、He 6×1E6、H2 >1E5
6、极限压力:< 1E-8(无任何泄露下)
7、前级泵抽速:0.9m3/h(50Hz)、1.0m3/h(60Hz)