【技术特点】-- 精密液体气相发生器

精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统，其液体流量是通过数字液体泵来控制，最大流量为80ml/min，精确度为0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后，被系统里的加热装置加热成蒸汽，然后随导入的气体被带入到炉管中。本机能够导出多种液体，如ETOH、SnCl₄、 TiCl₄R、SiHCl₃和Zn（C₂H₅）₂，以及多种有机物混合。对于研究用CVD方法生长纳米线和薄膜是极佳的研究设备。

精密液体气相发生器操作视频

产品型号	精密液体气相发生器
主要特点	1、流体和气体在一个316不锈钢罐中加热。 2、采用30段程序化控温。 3、气体流速通过浮子流量计控制。 4、配有压力表，可测出液气混合罐中的气体压强。 5、配有两个不锈钢针阀，以控制气体进出。 6、可与本司所有管式炉和CVD系统相连接。 7、已通过CE认证。
产品规格	尺寸：350mm×335mm×300mm；重量：5kg
可选配件	加热带（缠绕在外接的管道上，以保证液体蒸汽在传输过程中不会液化。）

【技术特点对用户带来的好处】-- 精密液体气相发生器

【典型应用举例】-- 精密液体气相发生器