质子流量控制器

工作温度：5~45oC  
最大压力:3x106 Pa  
精度: ±1.5% FS  
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度：5~45 oC
最大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度: 5~45 oC
最大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度: 5~45 oC
最大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制