1100℃三温区带滑轨8....

1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉

参考成交价格: 1~5万元[人民币]
技术特点

【技术特点】-- 1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉

产品简介:1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉GSL-1100X-8.5-SR-III是三温区滑轨真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下,在≤6″的基片上生长多种薄膜。

控温仪表操作视频

产品型号

1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉GSL-1100X-8.5-SR -III



安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:需要选配冷水机

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头)

4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上

5、通风装置:需要



主要特点

1、炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高设备

  的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。

2、滑轨式法兰结构,方便取放样品。

3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

4、三个加热区域实现更长的温度区和一个特定的温度梯度。

5、采用三个PID控制器,通过可控硅来进行温度控制,可以设置30段升降温程序。

6、右端法兰装载石英管堵,用以阻止热辐射;左端法兰上设有4片磨砂石英挡片,用于阻止热辐射。

7、已通过CE认证。



产品规格

尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg



标准配件

1

石英管堵

1个

2

KF-25真空挡板阀

1个


3

KF-40不锈钢波纹管

1根


可选配件

1、软件接口模块和PC机

2、K型热电偶(?6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)

3、冷水机






【技术特点对用户带来的好处】-- 1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉


【典型应用举例】-- 1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉


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